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岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,

5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时,

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的-种真空泵凹。其应用领域包括分析、半导体工业、光学、玻璃工业、涂层技术、真空冶炼、检漏技术、科研设备、照明用具行业等。

日本岛津磁悬浮TMP-4304分子泵保养对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M，岛津TMP-4304LMTC大流量分子泵，Shimadzu镀膜真空设备泵保养

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岛津磁悬浮分子泵维修，镀膜设备泵保养,磁悬浮分子泵具有无摩擦,无需润滑,无污染,高转速,寿命长等优点。

Shimadzu TMP-V2304LM分子泵进气法兰口VG250/ISO250B，出气法兰口KF40，日本岛津TMP-V2304LM (PB)磁悬浮分子泵自带控制器

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